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EH4200罗茨真空泵

产品优势:

适用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的压力范围下、需要超过3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的应用场合。

它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:

安静的无振动运行。

牢靠且防腐蚀。

先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染

防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到最低。

轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。


应用:

半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2激光


技术数据

EH4200

排量(工作容积)

4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1

使用前级泵时的有效抽速

3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1

泵的压力差

0-60 mbar / 0-45 Torr

进气口连接

ISO250

出口连接

ISO100

转速

0-2900 rpm

连续进气口工作压力

0-1000 mbar/0-760 Torr

最大出口压力

1000 mbar/760 Torr

推荐的前级泵

GV400、E2M275

电机功率

11 kW/15 hp

碳氢化合物

PFPE

11 kW/15 hp

ATEX

11 kW

防爆

15 hp

环境温度范围


工作

5至 40°C/40至 104°F

存储

-10至 80°C/14至 176°F

最大工作湿度

90% RH

推荐用油

Ultragrade 20

油容量


齿轮箱

3.5 l/3.3 qt

联轴器盖

6.5 l/7 qt

轴封储油器

1.5 l/1.4 qt

重量

400 kg / 882 lb


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